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MPCVD中双基片结构对plasma设备的影响研究:
天然金刚石有着高的硬度、热膨胀系数、化学稳定性能及其光学透过率等物理和化学性能，这些优异性能，使得天然金刚石在许多领域都可以作为一种理想材料。例如可以用作电子束引出窗口、高频高功率电子器件、高灵敏的表面声学波滤波器、切削工具等。
CRF微波plasma设备化学气相沉积(MPCVD)法制作天然金刚石開始，MPCVD法制作天然金刚石的优势变得非常显著，当今世界高端的天然金刚石也几乎全是通过MPCVD法制作而成，与其他生长方法相比，MPCVD法因有着无极放电、生长速率快、天然金刚石杂质少等优点，成为一种理想的生长天然金刚石的方法。
近些年，MPCVD技术得到了较大进度，对天然金刚石沉积工艺参数影响的研究已经趋于成熟，但对MPCVD装置谐振腔的研究还有待进一步深人。微波谐振腔是MPCVD装置中的关键部件，不一样的微波谐振腔结构会影响电场强度及分布，从而影响plasma设备等离子体状态，最终对天然金刚石沉积质量和速率有相应影响。MPCVD装置微波谐振腔的结构研究对于天然金刚石生长方面是有着价值的。
常见的MPCVD法生长天然金刚石所用的谐振腔有不锈钢谐振腔式和石英钟罩式，石英钟罩式利于生长大面积的天然金刚石薄膜，但速率较慢且容易污染石英管，而不锈钢谐振腔式设备则有着生长速率快的特点。
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