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CRF等离子处理机聚合是1种可交联的小分子组合成大分子的过程:
聚合过程涵盖了许多气体参与的反应，形成了1个挥发性的聚合物膜。在气相或数据表层的单体将被分解和激活，并形成1个新的分子活性基团迁移到表层，吸附并与气相分离。每个吸附都代表了1个积累的过程。被吸附的分子在表层交联离子或自由基，形成一层薄膜。在薄膜构成过程中，新构成的表层原子和分子将受到气相基团的轰击和等离子中的电磁辐射。经典的聚合物具有活性结构，如承诺相互关键的双键。丙烯酸甲酯的双键为聚丙烯酸甲酯的构成带来了1个位置，这是一个著名的聚合物构成聚合物的例子。
CRF等离子处理机也可以使传统化学方法一般不能聚合的数据形成聚合物。等离子处理机可以将缺乏键合位点的气体分子分解成新的活性成分，然后聚合。当脂肪和芳香聚合物堆积在等离子中形成薄膜时，所有完整或不完整的单体，甚至常规聚合技术中的抗聚合单体都可以聚合。由于等离子聚合过程是一个复杂的物理和化学过程，它对等离子处理机过程参数有很强的依赖性，因此在积累过程中可以通过控制等离子处理机参数来控制生成膜的性质，具有不同的特点。例如，在基础表层生成粘附性好的薄膜或取得良好的薄膜表层抗拉强度。
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